マイクロエレクトロニクス及び半導体製造

• 真空バルブ向けの、高疲労限界メタルベローズ
• 高い柔軟性を持つダイアフラム型ベローズ
• 非常に高い清浄度が要求される用途向けフレキシブルメタルホース
• 光学用途向け精密ベローズ/ アクチュエータ

• 水性成分洗浄の為の様々な自動及び手動システム
• 製品内の残留水分へのもっとも厳しい基準を達成する為の真空乾燥機
• ISO 14644 クラス5のクリーンルームに対応する独立した製造環境

製品品質を確かめる為に、クリーンルーム条件化ですべての標準製品試験を提供しています。

• ヘリウム式リークテスト
• 紫外線による表面目視検査
• 金属及び有機粒子の分析
• ガス放出挙動の特定

クリーンルーム製品の専用個別包装により、製品を直接クリーンな環境に供給できます。